GT 어드밴스드 테크놀로지스(www.gtatcom)는 LED 제조 공정에 미치는 사파이어 색체의 영향을 평가하기 위해 실시했던 일련의 무작위 재료 연구 데이터를 상술한 사례 연구 결과를 8일 발표했다.

출처에 관계없이 모든 사파이어는 코어 수준에서 색을 드러내며, GT 어드밴스드 사파이어 고로(GT Advanced Sapphire Furnace, ASF™) 재료의 연한 핑크 빛은 불순물을 나타내는 것이 아니며, 핑크빛 ASF 사파이어는 ASF 제조공정에 악영향을 미치지 않을 뿐만 아니라 연한 핑크빛을 제거하기 위해 추가적인 공정이나 비용이 불필요함이 밝혀졌다. 이외에도 GT ASF 핑크 사파이어 재료는 조사 대상 샘플 중 최저 흡착, 최고 전환 에피(Epi) 웨이퍼의 원재료가 되는 것으로 확인됐다.

모든 연구는 GT ASF-사파이어 재료와 기타 출처의 LED급 사파이어의 무작위 샘플을 이용해 실시됐다. 이 사례 연구 결과는 독립적으로 실시된 글로우 방전 질량 분석법(GDMS, glow discharge mass spectroscopy)과 광열 공통경로 간섭법(Photo-thermal Common-path Interferometry, PCI)을 이용해 실시된 고휘도(HB) LED 기기 제조 연구에 기반한다.

사파이어 장비·소재 그룹의 셰릴 디귀드(Cheryl Diuguid) 부사장 겸 본부장은 “GT는 지난 12년 동안 LED 업계에 사파이어를 공급해 오고 있다. 이번 연구 결과는 연한 핑크빛 색에도 불구하고 ASF-성장 사파이어 재료의 우수한 품질과 성능에 대해 오랫동안 고객들이 보여준 긍정적인 반응을 입증한다”면서 “최근 사례 조사 결과를 통해 GT의 ASF 툴이 최고 품질의 사파이어 재료를 생산하며, LED 제조업체에게 가장 중요한 표준을 충족한다고 오랫동안 알려져 온 사실을 확인할 수 있다. 이러한 사실에는 거품 등의 치명적인 결함이 거의 없거나 아예 없거나, 표면 거칠기(Ra), 총두께편차(TTV), 뒤틀림, 휘도, 궁극적인 고 웨이퍼 수율 등 핵심 LED 웨이퍼 변수에 미치는 우수한 성능 등이 포함돼 있다”고 말했다.

이 새로운 연구는 사파이어 재료 속성이 전체 HB LED 가치망의 전체 제조공정에 미치는 영향을 조사하기 위해 GT가 출범한 종합적인 대규모 재료 특성평가 프로젝트의 일환으로 진행된다. GT는 중국, 선전에서 12월 9~10일 동안 열릴GG LED 컨퍼런스에서 색체 연구 결과를 발표할 예정이다.

이 사례 연구 보고서는 GT 웹사이트(www.gtat.com/resources-casestudies.htm) 자료 섹션에서 확인할 수 있다. GT는 또 사파이어 재료 품질을 평가하는 데 영향을 미치는 표준과 관련한FAQ(Frequently asked questions, 자주 묻는 질문) 목록을 작성했다. 이 FAQ 는 www.gtat.com/resources-casestudies.htm에서 확인할 수 있다.